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雖然臭氧可以用在RO進水的預處理部分，但是作為一種氧化性消毒劑，臭氧與游離氯一樣會損害反滲透膜，因此在進入膜元件之前，應該采取特別的措施除去殘余臭氧，UV紫外輻射可以成功的分解臭氧O3，但更加有效的方式是采用活性炭或亞硫酸氫鈉。因此，反滲透膜的消毒殺菌，可以考慮選用新型高效非氧化性的消毒劑DBNPA而不是臭氧。
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